Nikon start in drie landen rechtszaken tegen chipmachinemaker ASML en Carl Zeiss, maker van optische onderdelen. Volgens de Japanners maken het bedrijf uit Veldhoven en het Duitse concern inbreuk op intellectuele eigendommen. Het gaat om immersietechnologie, een productiemethode voor chips waarbij behandeld silicium met ultraviolet licht wordt beschenen. Nikon claimt dat ASML en Carl Zeiss inbreuk maken op de patenten van die technologie.
Nikon is rechtszaken gestart in Japan, Nederland en Duitsland. Volgens de Japanners maken ASML en Carl Zeiss gebruik van door Nikon geoctrooieerde technologie. ASML’s lithografiemachines (ook chipmachines genoemd) zouden wereldwijd zonder toestemming van Nikon gebruikmaken van gepatenteerde technologie om halfgeleiders te produceren.
Volgens Nikon, dat zich op de jaarcijfers van 2016 van ASML baseert, maakt ongeveer driekwart van de verkochte ASML-machines gebruik van immersietechnologie. Bij die productietechnologie voor chips wordt bij het etsen van transistorlijnen een met fotografisch materiaal behandelde silicium plaat (wafer) belicht met ultraviolet licht. Zo ontstaat een patroon van lijntjes op de wafer. Als die lijnafstand is te verkleinen, zijn meer elementen op de chip aan te brengen.
Nikon wil compensatie voor de ruim 3,5 miljard euro die ASML met de verkoop van de chipmachines verdiende en eist dat de chipmachinemaker en Carl Zeiss de verkoop en distributie staken.
Kwestie
Nikon: ‘We hebben overleg gevoerd met ASML en Zeiss om in deze kwestie tot een oplossing te komen, maar deze pogingen, die werden begeleid door een zeer ervaren mediator, hebben niet tot een schikking geleid.’
Volgens Nikon is er door het aanhoudende onrechtmatige gebruik van gepattenteerde technologie door ASML en Zeiss geen andere keuze dan de gang naar de rechter. Het bedrijf heeft in Nederland elf octrooi-inbreukzaken tegen ASML aangespannen bij de rechtbank Den Haag.
Achtergrond
ASML, Canon, en Nikon startten in de jaren tachtig van de vorige eeuw gezamenlijk onderzoek naar immersietechniek, maar gingen vervolgens elk hun eigen weg om een werkende en verkoopbare chipmachine op de markt te brengen.
Nikon schetst de achtergrond van het geschil met ASML en Zeis in het volgende kader.
Achtergrond geschil volgens Nikon
- In 1990 was Nikon ’s werelds grootste producent van lithografiesystemen voor de productie van halfgeleiders.
- In december 2001 startte Nikon in de Verenigde Staten rechtszaken tegen ASML vanwege gebruik zonder toestemming van technologieën die Nikon had ontwikkeld en geoctrooieerd.
- In 2004 is een uitvoerige schikking bereikt en is Nikon kruislicentieovereenkomsten (‘cross-license agreements’) met ASML en Zeiss aangegaan. Onder deze overeenkomsten werden oudere octrooien voor onbepaalde tijd in licentie gegeven en sommige octrooien met een latere indieningsdatum voor een beperkte termijn tot 31 december 2009.
- In de licentieovereenkomsten kwamen de partijen overeen dat zij elkaar niet zouden aanklagen wegens octrooi-inbreuk gedurende een periode van ‘non-assertion’ (een afspraak tot het niet uitoefenen van rechten) van 1 januari 2010 tot 31 december 2014.
- Echter, in lijn met de kruislicentieovereenkomsten is het Nikon toegestaan om nu schadevergoeding te eisen voor octrooi-inbreuk door ASML en Zeiss gedurende de ‘non- assertion period’.
- Gedurende de ‘non-assertion period’ heeft ASML producten geïntroduceerd ter zake waarvan Nikon in de rechtszaken betoogt dat deze inbreuk maken op haar octrooien.
- Sinds de licentie onder kruislicentieovereenkomst eindigde op 31 december 2009, heeft Nikon geprobeerd om met ASML en Zeiss te onderhandelen om overeenstemming te bereiken over een nieuwe licentieovereenkomst. Echter, ASML en Zeiss waren niet bereid om voorwaarden te accepteren die de waarde van Nikons geoctrooieerde technologie reflecteren. Nikon meent dat zowel ASML als Zeiss nog steeds zonder toestemming gebruik maken van Nikons geoctrooieerde technologie. Zodoende onderneemt Nikon opnieuw juridische stappen tegen hen om haar octrooien te handhaven.
Octrooi-schendingen per land volgens Nikon
- In Nederland, waar ASML de lithografiesystemen assembleert, roept Nikon bij de rechtbank Den Haag elf octrooien in tegen ASML: Europese octrooien met nummers 1,598,855; 1,652,003; 1,881,521; 2,157,480; 2,264,531; 2,624,282; 2,717,098; 2,752,714; 2,765,595; 2,818,928; en 2,937,734.
- In Duitsland, waar Zeiss de optische componenten produceert die worden gebruikt in ASML’s lithografiesystemen, roept Nikon bij de rechtbank in Mannheim tegen Zeiss twee octrooien in: Europese octrooien met nummers 1,881,521 en 2,157,480.
- In Japan, waar het hoofdkantoor van Nikon is gevestigd, roept Nikon bij de rechtbank in Tokio twee Japanse octrooien in: Japanse octrooien met nummers 4,604,452 en 5,708,546.
Het heeft niks te maken met uv-licht, lijntjes of wat ook. Dat was allemaal al. Bij immersie lithografie gaat het erom dat de belichting plaats vind via water en er dan geen overgang met lucht meer tussen is. Zo kan er nauwkeuriger gewerkt worden en lijntjes dichter op elkaar gemaakt worden. Immersie betekent letterlijk onderdompeling. https://en.wikipedia.org/wiki/Immersion_lithography
Immersie-lithografie is inmiddels al best oud ( >10 jaar) en wijdverbreid. Het artikel weidt niet uit of het over een specifiek onderdeel van deze techniek gaat of over het geheel. Vreemd is in ieder geval dat Nikon daar nu pas mee komt.