Asm International opent samen met het Californische Accurel Systems een laboratorium voor Secundary Ion Mass Spectrometry (Sims).
Het laboratorium wordt gevestigd op de ‘campus’ van de leverancier van chipproductiemachines in Phoenix, Arizona. Accurel is gespecialiseerd in foutenanalyse en zal de Sims-ondersteuning leveren voor Asmi’s Epsilon ‘epitaxial reactor’, alsmede ondersteuning voor productdemonstraties.
Het Sims-laboratorium is ontworpen en uitgerust om te voldoen aan alle analytische eisen van Epsilon. Asmi is vooral met Accurel in zee gegaan, omdat dat bedrijf gespecialiseerd is in analyses van ‘silicon-germanium devices’.
