Doug Dunn, de nieuwe ‘chief executive officer’ van ASM Lithography, is gepokt en gemazeld in de halfgeleiders. Hij leidde GEC Plessey en trok Philips Semiconductors uit een dal. Beurslieveling ASML haalt hem binnen om de gezondheid en groei voor de komende vijf jaar te garanderen.
Oud-collega’s bij Philips roemen zijn uitstraling en de gave om medewerkers te enthousiasmeren. Toen zijn vertrek bij het elektronicaconcern bekend werd, kreeg Doug Dunn per e-mail honderden bedankjes en steunbetuigingen. Een medewerker die hem bij Philips Semiconductors van nabij meemaakte zegt: ‘Ik vind het voor Philips een groot gemis. Hij bracht flair in de organisatie.’ Teamgeest kweekt Dunn blijkbaar ook. Toen hij in 1996 verhuisde van Philips Halfgeleiders naar de divisie Consumenten Elektronica nam hij vrijwel het hele managementteam mee, waaronder Roel Kramer (hoofd technologie) en Cees Jan Koomen (hoofd communicatie en multimedia).
Hij kwam in 1992 van de Engelse chipfabrikant GEC Plessey naar Nederland om de chipdivisie van Philips te leiden. Een jaar na zijn komst herwon Philips Semiconductors zijn kracht en groeide midden jaren negentig zelfs uit tot meest winstgevende divisie binnen het bedrijf. Dunn had het tij mee – de halfgeleiderindustrie klom uit een dal – maar hij bracht ook vaart in de organisatie door agressiever te investeren in nieuwe chipproductietechnologie.
Dunn weigert opheldering te geven over zijn vertrek vorig jaar bij Philips. ‘Na vijf en een half jaar heb ik zo veel goede vrienden en herinneringen dat ik op geen enkele manier commentaar wil geven dat zou kunnen worden uitgelegd als kritiek. Ik word echt boos als ik op de Nederlandse televisie personen diepzinnige opmerkingen over Philips hoor maken, terwijl ze dertig jaar geleden ooit bij het bedrijf werkten of er via via iemand kennen. Vaak is hun mening gebaseerd op onwetendheid, onkunde en niet op feiten. Dat kan me echt irriteren. Waarom zou je 250 duizend mensen willen beschadigen? Het is een fantastisch bedrijf, ik heb heel veel respect voor ze. Ze hebben geweldige mensen en mooie technologie.’
Turbulente toekomst
Na bijna een jaar ‘warmdraaien’ volgde Dunn afgelopen 1 januari Willem Maris op als directeur van ASM Lithography in Veldhoven. ASML is na Nikon de grootste fabrikant van ‘wafersteppers’, de machines waarmee via een lithografische belichting de fijne structuren op chips worden afgebeeld. Over de plotselinge beschikbaarheid van Dunn zei Maris in The Wall Street Journal: ‘Ik dacht dat ik nog wel één of twee jaar door kon gaan, maar deze kans is zo uniek. Dunn is de beste leider voor ASML in de komende vijf jaar.’ In het Eindhovens Dagblad zei Maris onlangs: ‘Dunn kent onze klanten. Dat is vreselijk belangrijk. Er zijn maar 150 potentiële afnemers van wie we er vijftig als klant hebben. Je kent ze, je hebt met ze gegeten en je weet vaak ook nog hoe het met hun kinderen gaat.’
Dunn maakte Philips Semiconductors weer slagvaardig, maar bij ASML komt hij binnen in een bedrijf dat al zeer succesvol is. De toekomst is echter gegarandeerd turbulent. De komende jaren zal Dunn knopen moeten doorhakken over investeringen in nieuwe technologie. Want lithografische productietechnieken voor chips op basis van UV-laserlicht en lenzen naderen echt hun einde, al weet niemand precies of dat nu over vijf of vijftien jaar is. Voorlopig blijft ASML hoog inzetten op optica. ‘Daar zijn we goed in. De komende paar jaren zal dat zeker de dominante bron van lithografie zijn. We handhaven die investering, want het is een grote business.’
Wel is duidelijk dat de R&D van optische lithografie steeds hogere investeringen vraagt. Tegelijkertijd kan ASML het zich niet veroorloven om de dure sprong naar de zogenoemde ‘next-generation’ lithografische technieken (NGL) te missen. Daarvan bestaan er vier opties: afbeeldingstechnieken op basis van elektronen, ‘Extreem UV’ licht-ionen en röntgenstralen. De ontwikkelingskosten voor een eerste prototype machine voor elke NGL-techniek vraagt naar schatting één miljard gulden voor elk van de vier opties. Dat vergt uiterste concentratie om op het juiste moment te investeren en alternatieve technologie links te laten liggen.
Voorlopig geeft ASML de hoogste prioriteit aan optica, eerst met lenzen en laserlicht, daarna de NGL-variant met holle spiegels en EUV-licht. De tijd dringt, in 2003 wil ASML met de partners Intel, AMD en de Amerikaanse nationale laboratoria Sandia en Lawrence Livermore een prototype van een machine klaar hebben.
Elektronenprojectie
Alleen gokken op de optische lijn is te riskant. Om de toekomst veilig te stellen sloot ASML onlangs een joint venture met de grootste fabrikant van productieapparatuur voor chips Applied Materials. Deze joint venture, e-Lith, zal lithografische machines gaan bouwen op basis van de Scalpel elektronenprojectie-lithografie die Bell Labs ontwikkelde. Een prototype van deze machine moet al over twee jaar klaar zijn.
Applied maakt nog geen lithografische apparatuur, maar slaagt dit initiatief, dan kan e-Lith wel een concurrent worden van ASML. Dunn: ‘We zijn e-Lith vrijwillig aangegaan. Het was onze suggestie. Het zou absoluut een concurrerende oplossing kunnen bieden. Er kunnen drie dingen gebeuren. Als e-beam een succes wordt, schuift de markt van optisch naar ‘e-beam’. Er kan ook een vredig samenzijn ontstaan waarbij sommige chips met e-beam en andere met optische lithografie worden gemaakt. Als elektronenprojectie volkomen faalt, dan hebben we er wat R&D-geld aan besteedt, maar dat is niet de grootste rekening van de wereld.’
Dunn verdiept zich nog steeds in de ‘sterktes en zwaktes’ van ASML. Het is vooral de dagelijkse gang van zaken die nu zijn grootste aandacht vraagt. ‘De huidige prestaties moeten doorgaan.’ Maar de nieuwe directeur maakt duidelijk dat hij strategische issues niet schuwt. Uitdagingen genoeg. ‘Hoe we gaan doordringen in Japan? We hebben Intel nog steeds niet als klant. Er zijn nog veel bedrijven waar we niet aan leveren.’
Ook ligt het toekomstige productportfolio van ASML wat Dunn betreft helemaal open. ‘We gaan ons de komende maanden afvragen waar onze omzetten over vijf tot zes jaar vandaan zullen komen. Alleen van lithografische apparaten? Dat kan, want dat is een grote en nog steeds groeiende markt. Maar we kunnen ons ook meer gaan richten op toegevoegde waarde.’
Optimale maskerpatronen
ASML schoof de laatste maanden al in die richting op. Het Veldhovense bedrijf nam Mask Tools over, een bedrijf dat software maakt voor de berekening van optimale maskerpatronen (maskers vormen de originelen bij een lithografische belichting). Vervolgens ging ASML Mask Tools een samenwerking aan met Mentor Graphics, een leverancier van ontwerpgereedschappen voor chips. Beide bedrijven gaan technologie ontwikkelen die chipfabrikanten helpt om hun opbrengsten te verhogen. Dunn: ‘We zouden twee of drie nieuwe aandachtsgebieden kunnen identificeren. We bedienen nu chipfabrikanten, maar met onze special ‘applications’ groep maken we ook al machines voor leeskoppen voor harde schijven en voor galliumarseen chips. Ook kijken we naar productiemachines voor lcd-schermen en DNA-chips. Ik suggereer niet dat daar een markt is voor ons, maar naar al die dingen zullen we de komende maanden zeker kijken.’
De grootste R&D-investeringen zal ASML de komende jaren doen in machines volgens de conventionele optische technieken. Alleen al in Veldhoven zal de technische staf daarvoor in drie jaar tijd toenemen van 1300 naar 2000. Nu bestaat ruim 30 procent daarvan uit programmeurs en softwaredeskundigen. Dat is niet zo verwonderlijk want veel machineonderdelen koopt ASML in, zoals lenzen bij Carl Zeiss en lasers bij Cymer en elektromechanische componenten bij Philips. ASML beschikt vooral over de systeemkennis. Software maakt daarvan een steeds groter onderdeel uit. De computer van de komende generatie 193 nm wafersteppers heeft acht PowerPC-boards.
Dunn: ‘Het gaat om miljoenen regels code. In de systeemontwikkeling scoren problemen met software minstens zo hoog als de fysische grenzen waar we tegenop lopen. Ook als je kijkt naar de ‘aftersales’-verbeteringen die we onze klanten geven, dan zijn die vaak op software gebaseerd. Niet alleen ASML, maar iedereen onderschat de softwareontwikkelingstijd die nodig is voor projecten. Management van software, issues als modulaire software, hergebruik en een goede projectplanning voor software is een van onze belangrijkste aandachtsgebieden.’
Het vinden van nieuwe technici is moeilijk. Enkele maanden geleden startte ASML een grootscheepse campagne waarbij medewerkers een bonus in het vooruitzicht werd gesteld als ze een nieuwe werknemer onder hun bekenden wisten te rekruteren ‘De uitdaging is om zevenhonderd mensen te vinden en binnen te brengen. Niet om ze te betalen. We zullen ook bronnen moeten aanboren buiten Nederland, in Engeland en Taiwan. Een van onze medewerkers kwam een paar weken geleden enthousiast terug uit de Filippijnen waar hij hooggekwalificeerde afgestudeerden in hardware en software had gevonden. We praten over tien tot vijftien mensen, maar alles helpt. We kijken breder in Nederland en verleggen intussen de grenzen. We kunnen ons niet veroorloven om de ontwikkeling binnen het bedrijf te stoppen door een tekort aan technici.’
René Raaijmakers, freelance medewerker
